TEMPERATURE-DEPENDENCE OF SPUTTERING BEHAVIOR OF CU-LI ALLOYS

被引：12

作者：

BOHDANSKY, J

ROTH, J

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(87)90479-4

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：518 / 520

页数：3

共 7 条

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