FABRICATION AND STRUCTURE OF EPITAXIAL ER SILICIDE FILMS ON (111) SI

被引:109
作者
DAVITAYA, FA
PERIO, A
OBERLIN, JC
CAMPIDELLI, Y
CHROBOCZEK, JA
机构
关键词
D O I
10.1063/1.101517
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2198 / 2200
页数:3
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