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FABRICATION AND STRUCTURE OF EPITAXIAL ER SILICIDE FILMS ON (111) SI
被引：109
作者：
DAVITAYA, FA
PERIO, A
OBERLIN, JC
CAMPIDELLI, Y
CHROBOCZEK, JA
机构：
关键词：
D O I：
10.1063/1.101517
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：2198 / 2200
页数：3
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