PREPARATION AND PROPERTIES OF CVD-SILICON TUBES AND BOATS FOR SEMICONDUCTOR-DEVICE TECHNOLOGY

被引：9

作者：

DIETZE, W

HUNT, LP

SAWYER, DH

机构：

[1] SIEMENS AG,BEREICH HALBLEITER,FRANKFURTER RING 152,D-8000 MUNICH,WEST GERMANY

[2] DOW CORNING CORP,SOLID STATE RES & DEV,HEMLOCK,MI 48626

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2401987

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页数：4