CHEMICAL GAS-PHASE DEPOSITION OF TITANIUM CARBIDE - EXPERIMENT AND CALCULATION OF EQUILIBRIUM

被引:14
作者
REICHLE, M
NICKL, JJ
机构
来源
JOURNAL OF THE LESS-COMMON METALS | 1972年 / 29卷 / 03期
关键词
D O I
10.1016/0022-5088(72)90112-9
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
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引用
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页码:241 / &
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