DIFFUSION OF BORON, PHOSPHORUS, ARSENIC, AND ANTIMNY INTO (100( AND (111( SILICON SLICES

被引：21

作者：

CHAN, TC

MAI, CC

机构：

来源：

PROCEEDINGS OF THE INSTITUTE OF ELECTRICAL AND ELECTRONICS ENGINEERS | 1970年 / 58卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1109/PROC.1970.7699

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：588 / &