未找到相关数据
INSITU DETERMINATION OF THE STRUCTURE OF THIN METAL-FILMS BY INTERNAL-STRESS MEASUREMENTS - STRUCTURE DEPENDENCE OF SILVER AND COPPER-FILMS ON OXYGEN-PRESSURE DURING DEPOSITION
被引：33
作者：
ABERMANN, R
KOCH, R
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(80)90225-4
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
收藏
页码：217 / 232
页数：16
相关论文