PLANAR ZN DIFFUSION IN INP

被引:33
作者
REZEK, EA [1 ]
WRIGHT, PD [1 ]
HOLONYAK, N [1 ]
机构
[1] UNIV ILLINOIS,MAT RES LAB,URBANA,IL 61801
关键词
D O I
10.1016/0038-1101(78)90261-7
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:325 / 329
页数:5
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