SECONDARY ELECTRON EMISSION FROM DIFFUSION PUMP OILS .2. DELTA-ETA ANALYSIS FOR DC-705

被引:12
作者
GOTO, K
ISHIKAWA, K
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.7.227
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:227 / &
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