A MOVABLE SAMPLE STUB FOR HEATING AND COOLING WITH INTEGRAL THERMOCOUPLE FOR USE WITH THE VG SCIENTIFIC ESCALAB-MKII

被引：9

作者：

LINDQUIST, JM

HEMMINGER, JC

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574120

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：118 / 119

页数：2