PREPARATION OF STOICHIOMETRIC KTA1-XNBXO3 FILMS BY RF SPUTTERING

被引：2

作者：

FUKAMI, T

TSUCHIYA, H

机构：

来源：

ELECTRICAL ENGINEERING IN JAPAN | 1977年 / 97卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1002/eej.4390970303

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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