SECONDARY-ELECTRON DETECTOR, WITH AN EXTENDED LIFE, FOR USE IN A SCANNING ELECTRON-MICROSCOPE

被引:4
作者
MARSHALL, DC
STEPHEN, J
机构
来源
JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1972年 / 5卷 / 11期
关键词
D O I
10.1088/0022-3735/5/11/007
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
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页码:1046 / &
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MARSHALL DB, IN PRESS