COMBINATION MOISTURE RESISTANT AND ANTIREFLECTION PLASMA-POLYMERIZED THIN-FILMS FOR OPTICAL COATINGS

被引：2

作者：

HOLLAHAN, JR

WYDEVEN, T

JOHNSON, CC

机构：

[1] TEGAL CORP,RICHMOND,CA 94804

[2] NASA,AMES RES CTR,MOFFETT FIELD,CA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318554

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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