SUBMICRON PATTERNING OF SURFACES

被引：6

作者：

HOSACK, HH ^{[1
]}

DYCK, RH ^{[1
]}

机构：

[1] FAIRCHILD CAMERA & INSTR CORP,PALO ALTO,CA 94304

来源：

IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS | 1977年 / 12卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1109/JSSC.1977.1050915

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：363 / 367

页数：5

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共 1 条

[1] KAMIOKA H, 1974, IEDM TECHNICAL DIGES, P279