UHV OUTGASSING MEASUREMENTS ON VARIOUS CARBONS

被引:7
作者
BEITEL, GA [1 ]
BENSON, DK [1 ]
机构
[1] MIDWEST RES INST,KANSAS CITY,MO 64110
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.1317939
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:201 / 203
页数:3
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