AUGER ANALYSIS OF CHLORINE IN HCL-GROWN, OR CL2-GROWN SIO2 FILMS

被引：45

作者：

CHOU, NJ ^{[1
]}

OSBURN, CM ^{[1
]}

VANDERME.YJ ^{[1
]}

HAMMER, R ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HEIGHTS,NY 10598

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1973年 / 22卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1654681

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：380 / 381

页数：2

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共 6 条

[1] FLITCH R, UNPUBLISHED
[2] KRIEGLER RJ, 1972, J ELECTROCHEM SOC, V119, pC241
[3] NEUTRALIZATION OF NA+ IONS IN HCL-GROWN SIO2
KRIEGLER, RJ
[J]. APPLIED PHYSICS LETTERS, 1972, 20 (11) : 449 - &
[4] REDHEAD PA, 1968, PHYSICAL BASIS ULTRA
[5] Stull D.R., 1956, THERMODYNAMIC PROPER, V18
[6] VANDERMEULEN Y, TO BE PUBLISHED