REACTIVELY SPUTTERED OXIDE FILMS

被引：29

作者：

LIEBERMAN, ML

MEDRUD, RC

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1969年 / 116卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2411806

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：242 / +

页数：1

共 24 条

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