SPATIOTEMPORAL VARIATION OF LIGHT-EMISSION FROM SF6 PARALLEL-PLATE DISCHARGE AT FREQUENCIES OF 100-KHZ AND 500-KHZ

被引：6

作者：

SUGANOMATA, S

ISHIKAWA, I

OHMOTO, S

AKITSU, T

SAITO, Y

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS | 1989年 / 28卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.28.L2265

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L2265 / L2266

页数：2

共 4 条

GOGOLIDES, E ;

NICOLAI, JP ;

SAWIN, HH .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1989, 7 (03) :1001-1006

[2]

ISHIKAWA I, 1989, 19TH P INT C PHEN IO, P404

[3] DIFFUSE AND CONSTRICTED GLOW-DISCHARGES IN SF6 [J].

OGLE, DB ;

WOOLSEY, GA .

PICARD, A ;

TURBAN, G ;

GROLLEAU, B .