ION-IMPLANTATION OF ZNS

被引:9
作者
GEORGOBI.AN [1 ]
KOTLJARE.MB [1 ]
ZLOBIN, VN [1 ]
TODUAL, PA [1 ]
GENERALO.YP [1 ]
DEMENTEV, BP [1 ]
机构
[1] PN LEBEDEV PHYS INST,MOSCOW,USSR
关键词
D O I
10.1016/0025-5408(73)90073-1
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
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页数:5
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共 2 条
[2]  
GEORGOBIANI AN, 1970, T FIAN, V50, P27