COMPUTERIZED OPTIMIZATION OF ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY SYSTEMS

被引：14

作者：

CHU, HC

MUNRO, E

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 19卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571167

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1053 / 1057

页数：5

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