SYSTEM FOR TRANSFERRING SAMPLES BETWEEN CHAMBERS IN UHV

被引：24

作者：

FLEISCH, T ^{[1
]}

SHEPARD, AT ^{[1
]}

RIDLEY, TY ^{[1
]}

VAUGHN, WE ^{[1
]}

WINOGRAD, N ^{[1
]}

BAITINGER, WE ^{[1
]}

OTT, GL ^{[1
]}

DELGASS, WN ^{[1
]}

机构：

[1] PURDUE UNIV,SCH CHEM ENGN,W LAFAYETTE,IN 47907

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569840

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1756 / 1760

页数：5