A VARIABLE CAPACITOR FOR MEASUREMENTS OF PRESSURE AND MECHANICAL DISPLACEMENTS - A THEORETICAL ANALYSIS AND ITS EXPERIMENTAL EVALUATION

被引:55
作者
LILLY, JC
LEGALLAIS, V
CHERRY, R
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1697817
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页码:613 / 628
页数:16
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