SELF-INDUCED SPUTTERING DURING ELECTRON-BEAM EVAPORATION OF TA

被引：3

作者：

SCHUERME.FL

CHASE, WR

KING, EL

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1660025

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：5856 / &

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共 4 条

[1]

HAYASHI C, 1969, RESEARCH DEVELOPMENT, V20, P40

[2]

Heavens O. S., 1955, OPTICAL PROPERTIES T, P62

[3]

Tolansky S., 1948, MULTIPLE BEAM INTERF

YOUNG, L ;

ZOBEL, FGR .