ANALYSIS OF TRAPEZOID DISTORTION DUE TO CHARGE-UP IN ELECTRON BEAM RECORDING

被引：4

作者：

SAITOU, N

MUNAKATA, C

MAEKAWA, A

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.10.351

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：351 / &

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共 5 条

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