共 2 条
HOLOGRAPHIC PROJECTION OF MICROCIRCUIT PATTERNS
被引:19
作者:
BEESLEY, MJ
FOSTER, H
HAMBLETON, KG
机构:
关键词:
D O I:
10.1049/el:19680040
中图分类号:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号:
0808 ;
0809 ;
摘要:
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