MOLECULAR EFFECT IN THE EXPANSION OF ION-IMPLANTED INSB

被引：10

作者：

DESTEFANIS, GL

BELLE, JP

OGIERCOLLIN, JM

GAILLIARD, JP

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1981年 / 182卷 / APR期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(81)90789-8

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

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页码：637 / 639

页数：3

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共 3 条

[1] VERY EFFICIENT VOID FORMATION IN ION-IMPLANTED INSB [J].

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