SIMPLE APPROXIMATION FOR CALCULATING IMPURITY PROFILES FOR A 2-STEP DIFFUSION PROCESS

被引：7

作者：

SHRIVASTAVA, R ^{[1
]}

MARSHAK, AH ^{[1
]}

机构：

[1] LOUISIANA STATE UNIV,DEPT ELECT ENGN,BATON ROUGE,LA 70803

来源：

PROCEEDINGS OF THE IEEE | 1977年 / 65卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1109/PROC.1977.10785

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：1614 / 1615

页数：2

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共 5 条

[1] APPROXIMATION TO IMPURITY ATOM DISTRIBUTION FROM A 2-STEP DIFFUSION PROCESS [J].

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