A MODEL OF SUBSTRATE SURFACE-ROUGHNESS EFFECT ON THE ELECTRICAL-PROPERTIES OF THIN-FILMS

被引：3

作者：

TOTH, L

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(87)90094-7

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：103 / 106

页数：4

共 6 条

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