METROLOGY IN ARC PLASMA - NEW CATHODE

被引：5

作者：

CROCHE, R

机构：

来源：

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1980年 / 13卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3735/13/2/012

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：165 / 167

页数：3

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