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COPPER-BASED METALLIZATION AND INTERCONNECTS FOR ULTRA-LARGE-SCALE INTEGRATION APPLICATIONS
被引：18
作者：
ALFORD, TL
LI, J
MAYER, JW
WANG, SQ
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(95)06624-1
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：R7 / R8
页数：2
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