OUTGASSING OF COPPER PINCHOFFS

被引：1

作者：

BEGEAL, DR ^{[1
]}

机构：

[1] SANDIA LABS,APPL PHYS DIV,ALBUQUERQUE,NM 87115

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318057

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：520 / 522

页数：3