PINHOLES IN PYROLYTIC OXIDE DEPOSITED ON SILICON AND METALS

被引：4

作者：

DOO, VY

SUN, VML

机构：

来源：

METALLURGICAL TRANSACTIONS | 1970年 / 1卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1007/BF02811603

中图分类号：

TF [冶金工业];

学科分类号：

0806 ;

摘要：

引用

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页码：741 / &

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共 4 条

[1] BESSER PJ, 1966, J ELECTROCHEM SOC, V113, pC216
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