CARBON DEPOSITION ON METALLIC SURFACES STUDIES BY RF PLASMA DISCHARGE

被引：9

作者：

CAIRNS, JA

COAD, JP

RICHARDS, EWT

STENHOUSE, IA

机构：

来源：

NATURE | 1980年 / 288卷 / 5792期

关键词：

D O I：

10.1038/288686a0

中图分类号：

O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];

学科分类号：

07 ; 0710 ; 09 ;

摘要：

引用

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页码：686 / 687

页数：2

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共 5 条

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