JUNCTION LEAKAGE CURRENT IN BF2+-IMPLANTED, RAPID-THERMAL-ANNEALED DIODES

被引:6
作者
MIKOSHIBA, H
ABIKO, H
KANAMORI, M
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1986年 / 25卷 / 08期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.25.L631
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:L631 / L633
页数:3
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