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JUNCTION LEAKAGE CURRENT IN BF2+-IMPLANTED, RAPID-THERMAL-ANNEALED DIODES
被引:6
作者
:
MIKOSHIBA, H
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0
MIKOSHIBA, H
ABIKO, H
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ABIKO, H
KANAMORI, M
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KANAMORI, M
机构
:
来源
:
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1986年
/ 25卷
/ 08期
关键词
:
D O I
:
10.1143/JJAP.25.L631
中图分类号
:
O59 [应用物理学];
学科分类号
:
摘要
:
引用
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页码:L631 / L633
页数:3
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