INFLUENCE OF PLASMA PARAMETERS ON ION-TRANSPORT DIRECTIONALITY IN A GLOW-DISCHARGE SHEATH

被引：4

作者：

TAGAMI, T

TANAKA, S

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | 1989年 / 37-8卷

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(89)90181-X

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：256 / 259

页数：4

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[1]

ARIKADO T, 1985, 7TH P S DRY PROC TOK, P114

[2] ELASTIC AND INELASTIC SCATTERING OF LOW-VELOCITY IONS - NE+ IN A, A+ IN NE, AND A+ IN A [J].

CRAMER, WH .

JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS, 1959, 30 (03) :641-642

[3]

TAGAMI T, 1987, 8TH P INT S PLASM CH, P973