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OBSERVATION OF MICRODEFECTS IN THIN SILICON-CRYSTALS BY MEANS OF PLANE-WAVE TOPOGRAPHY USING SYNCHROTRON X-RADIATION
被引：7
作者：
CHIKAURA, Y
IMAI, M
ISHIKAWA, T
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1987年
/
26卷
/
06期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.26.L889
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L889 / L892
页数：4
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