PROPERTIES OF FILTERED-ION-BEAM-DEPOSITED DIAMOND-LIKE CARBON AS A FUNCTION OF ION ENERGY (VOL 48, PG 4777, 1993)

被引：4

作者：

FALLON, PJ

VEERASAMY, VS

DAVIS, CA

ROBERTSON, J

AMARATUNGA, GAJ

MILNE, WI

KOSKINEN, J

机构：

来源：

PHYSICAL REVIEW B | 1994年 / 49卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1103/PhysRevB.49.2287.2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

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页码：2287 / 2287

页数：1

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[1] PROPERTIES OF FILTERED-ION-BEAM-DEPOSITED DIAMOND-LIKE CARBON AS A FUNCTION OF ION ENERGY [J].

FALLON, PJ ;

VEERASAMY, VS ;

DAVIS, CA ;

ROBERTSON, J ;

AMARATUNGA, GAJ ;

MILNE, WI ;

KOSKINEN, J .

PHYSICAL REVIEW B, 1993, 48 (07) :4777-4782