INSITU ARGON GLOW-DISCHARGE CLEANING IN THE SOR-RING VACUUM-SYSTEM

被引:4
作者
KITAMURA, H
机构
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1980年 / 177卷 / 01期
关键词
D O I
10.1016/0029-554X(80)90538-8
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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引用
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