RUTHERFORD BACKSCATTERING ANALYSIS OF GLASS SURFACES AND TIOX THIN-FILMS

被引:2
作者
FISCHER, H
HACKER, E
SCHIRMER, G
机构
关键词
Compendex;
D O I
10.1016/0040-6090(81)90147-4
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
Titanium oxides
引用
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页码:343 / 347
页数:5
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共 1 条
[1]   KRYPTON ENTRAPMENT IN CONTINUOUS-BIASED SPUTTER-DEPOSITED GLASSY METALS [J].
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MOSS, RW ;
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THIN SOLID FILMS, 1979, 63 (01) :137-141