RF SPUTTERED YTTRIA CAPACITORS

被引：11

作者：

GOLDSTEIN, RM

WIGGINTO.SC

机构：

[1] McDonnell Research Laboratories, McDonnell Douglas Corporation, St. Louis

来源：

THIN SOLID FILMS | 1969年 / 3卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(69)90065-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

[No abstract available]

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页数：1

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共 4 条

[1]

GOLDSTEIN RM, 1967, MAY P EL COMP C WASH, P312

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