STRUCTURAL CHARACTERIZATION OF TA/AL MULTILAYER FILMS

被引：18

作者：

JIANG, SS

HU, A

CHEN, H

LIU, W

ZHANG, YX

QIU, Y

FENG, D

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.343713

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：5258 / 5260

页数：3

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共 11 条

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