WETTABILITY CONTROL OF A PLASTIC SURFACE BY CF4-O2 PLASMA AND ITS ETCHING EFFECT

被引：45

作者：

KOGOMA, M

KASAI, H

TAKAHASHI, K

MORIWAKI, T

OKAZAKI, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3727/20/1/022

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：147 / 149

页数：3

共 7 条

[1]

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[2]

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