THE PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF TRANSITION-METAL NITRIDE FILMS

被引：8

作者：

DAWSON, PT ^{[1
]}

STAZYK, SAJ ^{[1
]}

机构：

[1] MCMASTER UNIV,DEPT CHEM,HAMILTON L8S 4M1,ONTARIO,CANADA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571654

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页数：2