INFLUENCE OF FILM CONDENSATION AND SOURCE RADIATION ON SUBSTRATE TEMPERATURE

被引：10

作者：

BREITWEISER, G

VARADARAJAN, BN

WAFER, J

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1970年 / 7卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1315817

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：274 / +

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