LSI PATTERN GENERATION AND REPLICATION BY ELECTRON-BEAMS

被引：12

作者：

MALMBERG, PR

OKEEFFE, TW

SOPIRA, MM

LEVI, MW

机构：

[1] WESTINGHOUSE CORP,RES LABS,PITTSBURGH,PA 15235

[2] ROME AIR DEV CTR,GRIFFISS AFB,NY 13440

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318458

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页数：3