METHOD OF FORMING FINE HOLES OF NEAR ATOMIC DIMENSIONS

被引:42
作者
FLEISCHER, RL
PRICE, PB
WALKER, RM
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1718419
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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页码:510 / &
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