THEORETICAL ASPECTS OF CATHODE SPUTTERING IN THE ENERGY RANGE OF 5-25 KEV

被引：53

作者：

ROL, PK

FLUIT, JM

KISTEMAKER, J

机构：

来源：

PHYSICA | 1960年 / 26卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1016/0031-8914(60)90051-3

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

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页码：1009 / 1011

页数：3

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共 5 条

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