ACCOMMODATION PUMPING - A NEW PRINCIPLE FOR LOW PRESSURE

被引:36
作者
HOBSON, JP
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1970年 / 7卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.1315856
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:351 / &
相关论文
共 22 条