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CLEANING OF MBE GAAS SUBSTRATES BY HYDROGEN RADICAL BEAM IRRADIATION
被引：79
作者：
TAKAMORI, A
SUGATA, S
ASAKAWA, K
MIYAUCHI, E
HASHIMOTO, H
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1987年
/
26卷
/
02期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.26.L142
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L142 / L144
页数：3
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