SOLID-SOLUTION IN SYSTEM SI3N4-GA2O3-AL2O3

被引:7
作者
OYAMA, Y [1 ]
机构
[1] TOYOTA CENT RES & DEV LABS INC, SHOWA, NAGOYA, JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.12.500
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:9
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