LOW-PRESSURE ION-SOURCE

被引：19

作者：

FITCH, RK

RUSHTON, GJ

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1972年 / 9卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1316619

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：379 / &

相关论文

共 4 条

[1]

BARBER DJ, 1970, J MATER SCI, V5, P1, DOI 10.1007/BF02427178

[2] A NEW TYPE OF ION SOURCE [J].

FITCH, RK ;

MULVEY, T ;

THATCHER, WJ ;

MCILRAITH, AH .

[3] A CHARGED PARTICLE OSCILLATOR [J].

MCILRAITH, AH .

[4]

OSBORN JS, 1968, NATURE, V220, P614